Pêşbaziya EUV ji alavên nîv-perçê periferîkî re dicive

Li dora nifşa nû teknolojiya hilberîna nîvrûkê "EUV (Ronahiya Ultraviolet Light)" dorpêç kir, pêşbaziya di navbera pargîdaniyên alavên alozê de zêde kir. Tokyo Electronics dê di salê dahatû ya sala 2020-an de (lê di Adarê 2021) de lêçûnek pêşkeftina bilind tomar bike, û pirtûka fermanê Lasertec di sala çûyî de du car ducar bû. Di bazara alavên EUV-ê de, Hollanda ASML makîneya lîtografiya bingehîn monopole dike, lê di warên çavdêriyê û çavkaniya ronahiyê de, hebûna pargîdaniyên Japonî jî baştir dibe.

Toshiki Kawai, serokkomarê Tokyo Electronics, sêyemîn mezintirîn hilberînerê hilberîna nîvrûkulê yê cîhanê, wiha got: "Heke EUV populer be, dê daxwazên alavên dawiya bilindtir zêde bibin." Di sala dahatû ya sala 2020 de, ew ê di lêçûnên lêkolîn û geşedanê de rekorek bilind ê 135 mîlyar yen veberhênan. .

Feydeya Tokyo Electronics "Pêşkêşvanê Coater" e. Ev alavên hanê tête bikar anîn ku ji bo pêşîlêgirtina kîloyek kîmyewî ya taybetî li ser moşek silicon wekî materyalek nîvserî pêk tê. Di warê alavên hilberîna girseyî ya EUV de, rêjeya bazara pargîdaniyê% 100 ye. Firotên hevgirtî yên ji bo vê salane tê xwestin ku bigihîje 1.28 trilyon yen. Zêdetirî 10% ji vê dê ji bo lêkolîn û pêşveçûnê were bikar anîn da ku meriv pêşengiya qonaxa populîzasyona EUV-ê bike.

Li bazara alavên hilberîna nîvsîrokê zêdetirî 6 trîlyon yen per salê, guherînên nifş çêdibe.

Berfirehiya xêza berikê ya nîvsermokek çêtir, performansa wê bilindtir be, û hilbera berhema niha 5 nano ye. Ji bo veguheztina qoşek wusa qehweyî li pêxwasek silicon, makîneya lîtografiya EUV pêdivî ye. Bi zêdebûna peydakirina ASML re, bi tenê rêbaziya girseyî ya EUV-a li cîhanê, pêşbaziya pêşkeftinê tevî amûrên periyodîk ên wekî hevrêz û çavkaniyên ronahiyê jî dest pê kiriye.

Sembola guherîna nifşê hilberînerê alavên ceribandinê Lasertec e. Heke di photomaskê de wekî qerta tewra orîjînalê de kêmasiyên hebin hebin, dê rêjeya kêmasiyê ya nîvgirava li gorî wê zêde bibe. Pargîdan amûrên ceribandinê yên ku EUV piştgirî dike, hilber dike û fermanên wê ji Tîrmeha 2019an heta Adara 2020-an jî ji heman serdema sala borî 2,2 caran zêde kiriye, gihîştiye 65,8 mîlyar yen. Tê payîn ku du-sê fermanên salane li ser EUV ve girêdayî ne.

Wekî din, pevçûnên qirêj di navbera pargîdaniyên Japonî de jî diqewimin. Di warê makîneyên nivîsandina maskên beam elektronan de, Toshiba's NuFlare Technology bi hevkarî di navbera JEOL û IMS NANOFABRICATION (Avusturya) de têkildar e. Hişmendî li ser pêşketina teknolojiya "Multi-Beam" e ku karanîna 260,000 tîrêjên lazer dike.

Di Januaryile de, Toshiba HOYA, ku dest bi serpereştkariya TOB (pêşnuma pêşkêşî ya gelemperî) kir, kir, û kontrola xwe li ser Niu Fulai xurt kir. 25 teknîsyenên pêşveçûnê yên nû hatine şandin, hwd, plan dikin ku di 2020-an de, amûrên lîtografiya nifşên pêşander ên piştgiriya EUV-piştgirî bikin.

Gigaphoton (li bajarokê Oyama, Tochigi prefecture), komeleyek Komatsu ye ku çavkaniyên lazer hilberîne, li benda vegera ye. Berî hatina EUV, pargîdanî di warê çavkaniyên ronahiyê yên ji bo makîneyên lîtografiyê de yek ji du sereke bû. Lêbelê, ji ber sedemên wekî wergirtina pêşbaziyek ji hêla ASML ve, ew niha hebûna xwe winda dike. Gigaphoton hewl dide ku pêşiyê jêderkên çavkaniya ronahiyê ya berbiçav bigire beriya ku ASML dest bi çêkirina amûreyên nifşê duyem ên EUV bike da ku sûkê sûkê bistîne.

Pêşîn ji bo ku pargîdaniyên ji bo pêşdebirina alavên EUV-ê lezgîn dike pêşbaziya miniaturîzasyonê ye ku ji hêla Samsung Electronics û TSMC ya Koreya Başûr ve hatî destpêkirin. Daxwaza semiconductorên performansên bilind ên mîna 5G pir bihêz e, û her du pargîdan ji bo her makîneya lithografiya ASML ya ku bi qasî 20 mîlyar yen hêjayî tê pêşbaziyê dike. Di vê pêvajoyê de, derfetên karsaziyê yên ji bo pargîdaniyên avahiyên hilberînê yên derdorê jî berfireh dibin.

Statisticsstatîstikên ji Komeleya Navdewletî û Tiştikên Semiconductor û Sêvên Navneteweyî (SEMI) û Komeleya Pîşesaziya Hilberîna Semiconductor ya Japonya (SEAJ) destnîşan dikin ku berhema bazarê ya alavên hilberînê yên nîvgirava ku li Japonya hatî çêkirin di sala 2019an de% 31.3% bû, ku di paşerojê de% 30 hiltîne. 20 sal.

Di warê alavên lîtografiyê de, Nikon û Canon berê bazara cîhanî hildiweşand, lê di pêşbaziya ASML de têk çû û di pêşveçûna EUV de paşde ket. Di warê semiconductor de, wekî ku pêvajoya hilberînê dijwar dibe, meyla xelat-bav-digire her zêde dibe. Veguheztina nifşê ku EUV wekî firsend bi dest dixe dê hem jî şirketa çêtirîn ya di nav şîrketên alavan de zêde bike.

"Veberhênana li alavên çargoşe li sûkê axa sereke sekinî," serokê rêber û pargîdaniyên parçeyên EUV-ê hişyar kir. Ji ber ku Hikûmeta Hollandayî ew pejirand, ASML nekare makîneyên lîtografiya EUV-ê ji axa sereke re veguhêzin. Wekî din, kirîna alav û perçeyên pergalê jî tê rawestandin.

Li pişt wê di navbera theîn û DYE de nakokiya bazirganiyê heye. Heke alavên ASML nekarin werin import kirin, hilberînerên nîvserî yên axa navîn dê di pêşbaziya minaqeşekirinê de bimînin. Hikumeta axa amancê armanc dike ku rêjeya xweseriya nîvrojiyê heya 2020 û 4025% bigihîje 2025-an, heya 2025-an dê bigihîje 70%, lê bigihîje ev dijwar e. Pir nêrîn bawer dikin ku Dewletên Yekbûyî zextê li ser Hikûmeta Hollandayê dike da ku ew wek çekek berteka bikar bîne.

Statisticsstatîstikên ji Komeleya Navdewletî û Amûrên Semiconductor Navneteweyî destnîşan dikin ku bazara alavên hilberîna nîv-hilberîner di sala 2019 de 59,7 mîlyar dolarê Amerîkî bû, ku ji% 2014-an 59% zêde bû. Di vê heyamê de, bazara serhêl hebûna xwe zêde kir, û beşa wê ya cîhanê ye. tevahiya bazarê ji 11.6% di 2014 de ji% 22.5 zêde bûye. Ji bo pargîdaniyên alavên hilberîner ên nîvsermor ên Japonî, axa sereke bûye bazarek ku ji bo bêşerefkirinê zehf e.

Pêşveçûna teknolojiya EUV dijwar e, û lêçûnên R & D ji bo hemî pargîdaniyan berfireh dibin. Heke bazar êdî berfireh nebe, vegera veberhênana sermayeyan dê dereng be, û pêşveçûna teknolojiyên nû, dibe ku pêşiya dijwar be.